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紫外波前傳感器(波前分析儀)

簡要描述:SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)與其光束分析軟件相結合,可提供完整的激光診斷:波前像差、強度分布、激光光束質量參數(M2、束腰尺寸和位置等)。

  • 產品型號:SID4-UV
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-12-21
  • 訪  問  量:1852
詳細介紹
品牌其他品牌價格區(qū)間面議
產地類別國產應用領域環(huán)保,化工,生物產業(yè),能源,綜合
SID4-UV250 x 250超高相位取樣分辨率

SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)


SID4-UV波前分析儀簡介

隨著光波波前探測技術的發(fā)展,各種波前傳感器應運而生。從測量原理上可以分成兩類:一類是根據幾何光學原理,測定波前幾何像差或面型誤差,主要有Shack-Hartmann 波前傳感器,曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等;另一類是基于干涉測量原理,探測波前不同部分的干涉性,來獲取波前信息,主要有剪切干涉儀波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標準鏡;它們結構簡單,抗干擾能力強,條紋穩(wěn)定。SID4-UV波前分析儀是測量光學元件和光束波前質量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法。SID4-UV波前分析儀作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器,SID4-UV波前分析儀非常適合于紫外光學測量,包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征,以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。


【關于Phasics】

Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專業(yè)經驗與*的波前測量技術為客戶提供全面的高性能波前傳感器。


一、 SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)主要特點

  • 250 x 250超高相位取樣分辨率

  • 2 nm RMS高相位靈敏度

  • 紫外波段波前測量的通用解決方案

               

                                非準直光入射                                                                                                      消色差


二、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀產品應用


  • 波前像差測量

基于四波剪切技術,Phasics 的波前傳感器同時提供具有高分辨率的相位和強度測量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結合,可提供完整的激光診斷:波前像差、強度分布、激光光束質量參數(M2、束腰尺寸和位置等)。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學裝置的任何一點,無論光束是準直的還是發(fā)散的。作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器,SID4-UV非常適合于紫外光學測量,包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征,以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。


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  • MTF測量

SID4系列波前傳感器可以配合用戶自行搭建的光路系統(tǒng)進行像質評價,只需一次直接拍攝,就可以通過軟件后處理測量參數(PSF, MTF, Zernike系數)。如果不能自行搭建光路系統(tǒng),也可以進一步了解Kaleo Kit 套裝等產品測量MTF等產品。


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三、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀應用領域

紫外光學測量| 光刻或半導體應用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測| 自適應光學| 等離子體密度


四、SID4-UV波前分析有/波前傳感器主要規(guī)格

波長范圍

250-400nm
靶面尺寸7.4 x 7.4 mm2
空間分辨率29.6 µm
取樣分辨率250 x 250
相位分辨率2 nm RMS
絕對精度10 nm RMS
采集速率30 fps
實時處理速度 > 2 fps (全分辨率下)


五、與夏克-哈特曼波前傳感器對比

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六、更多參數選型


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